Polisilikonni tayyorlash usuli.

1. Yuklash

Qoplangan kvarts tigelni issiqlik almashinuvi stoliga qo'ying, kremniy xom ashyosini qo'shing, so'ngra isitish moslamalarini, izolyatsiyalash uskunasini va o'choq qopqog'ini o'rnating, o'choqdagi bosimni 0,05-0,1 mbargacha kamaytirish uchun pechni evakuatsiya qiling va vakuumni saqlang. Pechdagi bosimni 400-600 mbar atrofida ushlab turish uchun argonni himoya gaz sifatida kiriting.

2. Isitish

Pech korpusini isitish uchun grafitli isitgichdan foydalaning, avval grafit qismlari, izolyatsiya qatlami, kremniy xom ashyolari va boshqalar yuzasida adsorbsiyalangan namlikni bug'lang, so'ngra kvarts tigelining harorati taxminan 1200-1300 darajaga yetishi uchun asta-sekin qizdiring.℃. Bu jarayon 4-5 soat davom etadi.

3. Erish

Pechdagi bosimni 400-600 mbar atrofida ushlab turish uchun argonni himoya gaz sifatida kiriting. Tigel ichidagi haroratni taxminan 1500 ga moslashtirish uchun isitish quvvatini asta-sekin oshiring℃, va kremniy xom ashyosi eriy boshlaydi. Taxminan 1500 ni saqlang℃eritish jarayonida eritish tugagunga qadar. Bu jarayon taxminan 20-22 soat davom etadi.

4. Kristal o'sishi

Kremniy xom ashyosi eritilgandan so'ng, isitish quvvati tigel haroratini taxminan 1420-1440 darajaga tushirish uchun kamayadi.℃, bu kremniyning erish nuqtasidir. Keyin kvarts tigel asta-sekin pastga siljiydi yoki izolyatsiyalash moslamasi asta-sekin ko'tariladi, shuning uchun kvarts tigel asta-sekin isitish zonasini tark etadi va atrof-muhit bilan issiqlik almashinuvini hosil qiladi; shu bilan birga, pastdan eritmaning haroratini pasaytirish uchun sovutish plitasi orqali suv o'tkaziladi va kristalli kremniy birinchi navbatda pastki qismida hosil bo'ladi. O'sish jarayonida qattiq-suyuqlik interfeysi kristall o'sishi tugagunga qadar har doim gorizontal tekislikka parallel bo'lib qoladi. Bu jarayon taxminan 20-22 soat davom etadi.

5. Tavlash

Kristal o'sishi tugagandan so'ng, kristalning pastki va yuqori qismi o'rtasidagi katta harorat gradienti tufayli, kremniy gofretni isitish va batareyani tayyorlash paytida yana sindirish oson bo'lgan ingotda termal stress bo'lishi mumkin. . Shuning uchun, kristall o'sishi tugagandan so'ng, kremniy ingotining harorati bir xil bo'lishi va termal stressni kamaytirish uchun kremniy ingot 2-4 soat davomida erish nuqtasi yaqinida saqlanadi.

6. Sovutish

Kremniy quyma pechda tavlangandan so'ng, isitish quvvatini o'chiring, issiqlik izolyatsiyasi moslamasini ko'taring yoki kremniy ingotini to'liq pasaytiring va kremniy ingotining haroratini asta-sekin kamaytirish uchun o'choqqa argon gazining katta oqimini kiriting. xona harorati; shu bilan birga, o'choqdagi gaz bosimi atmosfera bosimiga yetguncha asta-sekin ko'tariladi. Bu jarayon taxminan 10 soat davom etadi.